溅射设备结构
2024-11-26 17:37:30
admin
溅射设备主要由以下几部分组成：
真空室
样品台
溅射靶材
排气装置（旋转泵等）
供气系统
电源（高频、高压电源等）
真空室内部有固定基板的样品台、供应溅射材料的溅射靶材以及连接至真空室的真空泵和供气系统。
