真空室原理

真空室通过降低内部压力并尽可能消除气体和气体分子的存在来产生真空。为了维持真空状态，重要的是提高真空泵和密封件的气密性并除去气体。

真空泵用于抽除真空室内的气体。泵通常吸入室内的气体并将其排出到外部空气中。常见的泵类型包括油旋转泵、涡轮分子泵和吸入泵。此外，真空室的气密性也很重要。

腔室封闭件和窗户等接头通过橡胶、O 形圈和金属垫圈等密封材料保持气密。需要适当的密封设计并确认密封紧密度。

真空室内设有气体引入和排气设备，以排除气体和挥发性物质。这样可以控制室内的气体并维持真空水平。