什么是真空室？

真空室是一种密封容器，旨在保持极低的内部气压。

它通常具有金属盒状结构，并通过去除内部气体来产生真空。也称为真空室或真空容器。

由于真空中几乎不存在氧气或湿气，因此可以保护金属和塑料等材料免受氧化和腐蚀。使用真空室处理材料可以提高耐用性和质量。

然而，极低的压力和突然的压力变化可能很危险，必须在适当的培训和指导下进行操作。还必须注意确保腔室的结构和密封，并尽量减少事故和泄漏的风险。

真空室的应用

真空室是一种用于多种应用的设备。以下是如何使用真空室的示例。

1. 材料研究

它用于通过使用真空室来研究材料的物理性质。在真空状态下，可以研究材料的物理性质，而不受气体或湿气的影响。真空室用于评估导热性、导电性、弹性性能等。

我们还利用真空室进行材料表面处理和防氧化研究。它常用于防止表面腐蚀和开发涂层技术。此外，我们有时会在真空条件下观察材料的劣化和氧化行为，以评估耐用性和使用寿命。

2、表面处理

材料的表面处理可以使用真空室进行。具体来说，蒸发是在真空室中蒸发金属或其他物质，在基材或材料表面形成均匀薄膜的过程。广泛应用于光学镀膜、半导体制造等。

3、半导体制造

半导体制造工艺通常需要真空。沉积和蚀刻也可以在真空下进行。

沉积是在真空中引入气体或蒸汽以在半导体基板上生长薄膜的过程。它用于半导体器件的制造和集成电路的形成。

蚀刻是在真空中通过化学或物理方法去除半导体表面的过程。它用于形成精细图案和电路结构。