有关蚀刻设备的其他信息

1、蚀刻设备市场及份额

全球电子市场持续扩大，支撑其的半导体产业变得越来越重要。尽管经历了雷曼冲击等经济衰退，但全球半导体市场仍在持续扩张。

近年来，通过创建 3D 结构来进一步小型化存储介质的技术得到了积极的发展。因此，蚀刻设备作为3D生产的核心技术变得愈加重要。

2018年蚀刻设备消费市场规模为13893亿日元。按地区划分的消费份额为韩国（28%）、中国（19%）、日本（19%）、台湾（14%）和美国（10%）。 2018年，按供应商国籍划分的市场份额为美国（64%）和日本（32%）。截至2018年，该领域由美国和日本公司主导。

参考：2019财年安全贸易管制措施项目

2、干法刻蚀设备与3D NAND市场

干法蚀刻是微细加工技术之一，市场上有多种类型的设备，具体取决于所加工的材料。然而，主流是以半导体和金属为主的设备，例如硅和金属布线。一般半导体工厂中，绝缘膜干蚀刻设备的使用率很高。

2015年以来，干法刻蚀设备的市场规模已成为最大，超过了半导体制造设备中最大市场的曝光设备规模。 2017年，干法刻蚀设备市场规模为107亿美元。

干法刻蚀设备市场规模之所以迅速扩大，得益于存储器的3D结构化。随着小型化的进展，干法蚀刻工艺的数量增加，并且开发了闪存的三维结构。

形成 3D NAND 闪存单元需要各种处理步骤。特别是通道孔的深孔钻削是困难的并且需要较长的蚀刻过程。在半导体存储器工厂中，每小时处理的芯片数量非常重要。因此，我们将通过增加干蚀刻设备的安装数量来确保处理能力。