YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB600
YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB600YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB600规格产品代码215050模型PB600等离子模式DP（直接等离子体）电极结构对置电极法（分体法）高频输出功率在 60 至 600W 之间连续变化，但常规使用时最高可达 500W振荡频率13.56MHz晶振功率放大场效应管法控制/显示液晶触摸屏调音方法自动 手动处理时间设置1秒至1小时59分5
- 型号： PB600
YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB600
YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB600
规格
| 产品代码 | 215050 |
|---|---|
| 模型 | PB600 |
| 等离子模式 | DP（直接等离子体） |
| 电极结构 | 对置电极法（分体法） |
| 高频输出 | 功率在 60 至 600W 之间连续变化，但常规使用时最高可达 500W |
| 振荡频率 | 13.56MHz晶振 |
| 功率放大 | 场效应管法 |
| 控制/显示 | 液晶触摸屏 |
| 调音方法 | 自动 手动 |
| 处理时间设置 | 1秒至1小时59分59秒 |
| 反应室 | 由石英制成 |
| 反应室尺寸 | 直径 250 x 长度 350 (400) 毫米 |
| 反应部分温度 | 数字显示 |
| 反应气体 | 氧气、CF4等 |
| 吹扫气体 | 氮气/干燥空气 |
| 流量计 | 2系统质量流量控制器 |
| 真空计 | 电容压力计（0-1333Pa） |
| 真空泵 | 旋转真空泵（带过载保护机构）约300L/min |
| 急停开关 | 前推式 |
| 进气口 | 1 件（1/4" SUS Swagelok） |
| 吹扫气体入口 | 1 件（1/4" SUS Swagelok） |
| 真空排气口 | 1 件（1SUS NW25 法兰） |
| 内部尺寸（直径x深度） | φ250×350mm |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 500×700×720毫米 |
| 备注（尺寸） | *不包括电源和真空泵部件 |
| 电源容量 | 三相200V 20A |
| 重量 | 90公斤 |
| 备注（重量） | *不包括电源和真空泵部件 |