YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB1000SN
YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB1000SNYAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB1000SN规格产品代码215051模型PB1000SN等离子模式DP（直接等离子体）电极构造対向电极方式（分割方式）高频输出100 至 1,000W 连续振荡频率13.56MHz晶振功率放大FET方式控制/显示液晶触摸屏同调方式自动 手动处理时间设置1秒至1小时59分59秒反应室由石英制成
- 型号： PB1000SN
YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB1000SN
YAMATO雅马拓 气体等离子灰化器 PB1000SN
规格
| 产品代码 | 215051 |
|---|---|
| 模型 | PB1000SN |
| 等离子模式 | DP（直接等离子体） |
| 电极构造 | 対向电极方式（分割方式） |
| 高频输出 | 100 至 1,000W 连续 |
| 振荡频率 | 13.56MHz晶振 |
| 功率放大 | FET方式 |
| 控制/显示 | 液晶触摸屏 |
| 同调方式 | 自动 手动 |
| 处理时间设置 | 1秒至1小时59分59秒 |
| 反应室 | 由石英制成 |
| 反应室尺寸 | 直径 300 (350-450) x 长度 500 (550) 毫米 |
| 反应部分温度 | 数字显示 |
| 反应气体 | O2、CF4他 |
| 吹扫气体 | 氮气/干燥空气 |
| 流量计 | 质量流量控制器 2 系统 数字显示 (CF 4 0-300sccm) (O 2 0-1,000sccm) |
| 真空计 | 电容压力计（0-1333Pa） |
| 真空泵 | 旋转真空泵约1,000L~/min |
| 急停开关 | 前推式 |
| 进气口 | 2 件（1/4" SUS Swagelok） |
| 吹扫气体入口 | 1 件（1/4" SUS Swagelok） |
| 真空排气口 | 1 件（1SUS NW40 法兰） |
| 内部尺寸（直径x深度） | φ300×500mm |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 640×850×1695毫米 |
| 备注（尺寸） | *不包括电源和真空泵部件 |
| 电源容量 | 三相 200V 30A |
| 重量 | 250公斤 |
| 备注（重量） | *不包括电源和真空泵部件 |