YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC610
YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC610YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC610规格产品代码328216模型PDC610等离子模式RIE/DP（模式固定）电极结构3层独立平行平板（架子固定）高频输出最大600W振荡频率13.56兆赫控制/显示（仪器）音序器触摸屏腔体材质A5052反应气体2个系统（氩气、氧气）吹扫气体氮气或干燥空气真空泵旋转真空泵（约345L/min），
- 型号： PDC610
YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC610
YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC610
规格
| 产品代码 | 328216 |
|---|---|
| 模型 | PDC610 |
| 等离子模式 | RIE/DP（模式固定） |
| 电极结构 | 3层独立平行平板（架子固定） |
| 高频输出 | 最大600W |
| 振荡频率 | 13.56兆赫 |
| 控制/显示（仪器） | 音序器触摸屏 |
| 腔体材质 | A5052 |
| 反应气体 | 2个系统（氩气、氧气） |
| 吹扫气体 | 氮气或干燥空气 |
| 真空泵 | 旋转真空泵（约345L/min），标准装备 |
| 内部尺寸（宽x深x高） | 350×270×300毫米 |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 600×722×700毫米 |
| 备注（尺寸） | 电源线采用PSE标准线。获得海外标准FCC。 |
| 电源容量 | 三相AC200 50/60HzV 15A 断路器容量及动力设备容量15A。不含电源插头。 |