YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC510
YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC510YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC510规格产品代码215054模型PDC510等离子模式RIE/DP电极结构平行板（固定在电极之间）高频输出最大500W振荡频率13.56MHz晶振控制/显示（仪器）液晶触摸屏舞台尺寸宽400×深200mm腔体材质由铝制成反应气体2个系统（氩气、氧气）吹扫气体氮气或干燥空气反应气体流量控制质量流量
- 型号： PDC510
YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC510
YAMATO雅马拓 气体等离子干洗机 PDC510
规格
| 产品代码 | 215054 |
|---|---|
| 模型 | PDC510 |
| 等离子模式 | RIE/DP |
| 电极结构 | 平行板（固定在电极之间） |
| 高频输出 | 最大500W |
| 振荡频率 | 13.56MHz晶振 |
| 控制/显示（仪器） | 液晶触摸屏 |
| 舞台尺寸 | 宽400×深200mm |
| 腔体材质 | 由铝制成 |
| 反应气体 | 2个系统（氩气、氧气） |
| 吹扫气体 | 氮气或干燥空气 |
| 反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
| 真空泵 | 标准配备旋转真空泵（约500L/min） |
| 进气口 | 2 种反应气体，1 种吹扫气体 |
| 内部尺寸（宽x深x高） | 500×300×200毫米 |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 700×700×1285毫米 |
| 电源容量 | 三相A AC200V 8A 断路器容量及动力设备容量16A。不含电源插头。 |
| 重量 | 180公斤 |