YAMATO雅马拓 气体等离子清洗机 V1000XS
YAMATO雅马拓 气体等离子清洗机 V1000XSYAMATO雅马拓 气体等离子清洗机 V1000XS规格产品代码328214模型V1000XS等离子模式DP/RIE高频电源13.56兆赫输出（最大）1,000瓦电极有效载物台尺寸宽度400×375平板（多用）反应气体2 个质量流量控制系统（包括独立的吹扫气体系统）真空泵（标配）排量1,000 和 1,500 升/分钟安全装置门SW、测量
- 型号： V1000XS
YAMATO雅马拓 气体等离子清洗机 V1000XS
YAMATO雅马拓 气体等离子清洗机 V1000XS
规格
| 产品代码 | 328214 |
|---|---|
| 模型 | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE |
| 高频电源 | 13.56兆赫 |
| 输出（最大） | 1,000瓦 |
| 电极有效载物台尺寸 | 宽度400×375平板（多用） |
| 反应气体 | 2 个质量流量控制系统（包括独立的吹扫气体系统） |
| 真空泵（标配）排量 | 1,000 和 1,500 升/分钟 |
| 安全装置 | 门SW、测量板联锁、紧急停止SW、超温防止器 |