YAMATO雅马拓 小型等离子装置 PR301
YAMATO雅马拓 小型等离子装置 PR301
规格
| 产品代码 | 215008 |
|---|---|
| 模型 | PR301 |
| 方法 | DP型桶型 |
| 控制部分 高频输出 | 最大300W |
| 控制部分振荡频率 | 13.56兆赫 |
| 控制单元整定方法 | 手动2轴调整方式 |
| 反应段 反应槽 | 耐热玻璃材质 φ118×160mm |
| 反应部分 反应气系统 | 1系统(氧气)流量计 |
| 反应部分控制系统 | 自动减压、自动放气阀 |
| 反应部分管道材质 | 不锈钢、特氟龙 |
| 内部尺寸(直径x深度) | φ118×160mm |
| 外形尺寸(宽x深x高) | 438×520×630毫米 |
| 电源容量 | AC100VV 7A 断路器容量及电源设备容量15A |
| 重量 | 34公斤 |