YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L
YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500LYAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L主要规格规格模型ISP500L等离子模式RIE（RIE/DP自动切换可选）电源（晶振）高频电源高频输出50～500W配套盒自动的电极尺寸宽250×深180mm燃气系统质量流量控制器 1系统（2系统可选）安全装置配备各种安全装置控制方式PLC触控面板内部尺寸（宽x深x高）344×2
- 型号： ISP500L
YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L
YAMATO雅马拓 内联气体等离子清洗机 ISP500L
规格
| 模型 | ISP500L |
|---|---|
| 等离子模式 | RIE（RIE/DP自动切换可选） |
| 电源（晶振） | 高频电源 |
| 高频输出 | 50～500W |
| 配套盒 | 自动的 |
| 电极尺寸 | 宽250×深180mm |
| 燃气系统 | 质量流量控制器 1系统（2系统可选） |
| 安全装置 | 配备各种安全装置 |
| 控制方式PLC | 触控面板 |
| 内部尺寸（宽x深x高） | 344×230×45毫米 |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 2000×2000×2000mm |
| 备注（尺寸） | 腔室尺寸（内部尺寸） |