YAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N122MGM
YAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N122MGMYAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N122MGM流量控制范围宽的质量流量控制器数字质量流量控制器（SEC-N100系列）的特点产品概要这是一款质量流量控制器，可以处理从 10 SCCM 到 1000 SLM 的宽广流量控制范围，不仅可以处理室温气体，还可以处理腐蚀性气体。特征- 兼容的模拟/数字通信模式，具有一系列
- 型号： SEC-N122MGM
YAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N122MGM
YAMATO雅马拓 数字质量流量控制器 SEC-N122MGM
流量控制范围宽的质量流量控制器
数字质量流量控制器（SEC-N100系列）的特点
产品概要
这是一款质量流量控制器，可以处理从 10 SCCM 到 1000 SLM 的宽广流量控制范围，不仅可以处理室温气体，还可以处理腐蚀性气体。
特征
- 兼容的模拟/数字通信模式，具有一系列满足客户需求的通信方式
- 配备多量程、多气体功能：客户可以自行更改质量流量控制器的气体和流量范围
- 配备数字校正功能实现设定点精度。金属规格也可用于腐蚀性气体（N100MGM）
使用应用程序
- 安装在各种生产设备中：半导体、液晶、LED、太阳能电池、功率半导体、光纤、涂料等
- 一般工业：燃烧器气体控制、大气气体控制、混合气体发生、通风测量等
- 研究开发：各种气体传感器性能评价设备、催化剂性能评价设备、生物相关评价设备、燃烧设备性能评价设备等
实验室：各种实验用气体流量控制设备、采样气体流量控制设备等。
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产品系列列表
| SEC-N112MGM SEC-N114MGM SEC- N115MGM SEC-N116MGM SEC-N117MGM | SEC-N122MGM SEC -N124MGM SEC-N125MGM SEC-N126MGM SEC-N127MGM | SEC-N132MGM SEC-N134MGM SEC -N135MGM SEC-N136MGM SEC-N137MGM | SEC-N142MGM SEC -N144MGM SEC-N145MGM SEC-N146MGM SEC-N147MGM | SEC-N172R SEC-N174R SEC -N175R SEC-N176R SEC-N177R | |
| 气体类型 | 常温气体、腐蚀性气体等 | ||||
| 满量程流量 | 10~550SCCM 1~10SLM | 22～50SLM | 100SLM | 200SLM | 300～1000SLM |
| 标准配件 | 1/4" VCR 等效、1/4" Swagelok 等效 | 1/2" VCR 等效、3/8" Swagelok 等效 | 1/2" VCR 等效、1/2" Swagelok 等效 | ||
| 阀门类型 | 不通电时关闭：C | 断电时：闭合：C / 断开：O | 未通电时关闭 | ||
| 气体接触材料 | SUS316L PTFE 磁性不锈钢 *以“MGR”结尾的型号包括氟橡胶。 | SUS316L *型号结尾为“MGR”的产品包含氟橡胶。 | SUS316/SUS304 PTFE 磁性不锈钢氟橡胶 | ||
| 通讯电源规格 | 102：数字/模拟 104：设备网络 105：CC-Link 106：Profibus 107：EtherCAT | ||||