YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000系统能够混合多达 6 种气体成分多组分气体混合装置(MU-3000)特点制品概要根据生成的气体成分配备质量流量控制器,可以通过简单的操作生成混合气体。可以使用程序操作功能设置气体浓度,并配备内部开发的气体混合器,即使混合不同性质的气体也能均匀生成。特征・产生稳定浓度的 Px 气体:质量流
- 型号: MU-3000
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000系统能够混合多达 6 种气体成分多组分气体混合装置(MU-3000)特点制品概要根据生成的气体成分配备质量流量控制器,可以通过简单的操作生成混合气体。可以使用程序操作功能设置气体浓度,并配备内部开发的气体混合器,即使混合不同性质的气体也能均匀生成。特征・产生稳定浓度的 Px 气体:质量流
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-3000
系统能够混合多达 6 种气体成分
根据生成的气体成分配备质量流量控制器,可以通过简单的操作生成混合气体。
可以使用程序操作功能设置气体浓度,并配备内部开发的气体混合器,即使混合不同性质的气体也能均匀生成。
・产生稳定浓度的 Px 气体:质量流量控制可以产生精确浓度的混合气体,而不受供给压力或环境温度变化的影响。
・支持多种气体类型:多气体/多量程功能型号配备质量流量控制器,气体类型和流量范围可由客户更改。
操作简便:专用软件可以轻松设置生成的气体流量和气体浓度。您可以使用程序功能创建您最喜欢的配方
。 总生成流量:50SLM
兼容多种流量:兼容多种流量,从小流量(几个 SCCM)到大流量。状态管理方便,报警设置多样。
配备每种流量的记录功能,可以记录运行状态,并具有流量异常、外部异常报警、通讯异常等报警功能。
- 在各种催化剂的研发中引入模拟气体;评价催化剂的净化性能和重整性能。
- 各种传感器的研发:评估传感器输出特性响应气体浓度和环境温度的变化。
- 食品药品充装气体:装袋或罐装食品时充装气体进行保鲜时产生混合气体。
| MU-3000 | |
| 总流量 | 50SLM |
| 混合成分数 | 2-6种成分 |
| 连接质量流量控制器 | SEC-N102系列 |