YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-35XX
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-35XXYAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-35XX模型MU-35XX流量测量范围2~100%FS（保证精度范围）气体类型兼容惰性气体到腐蚀性气体（特殊气体将单独讨论）总流量100SCCM～50SLM成分5种成分外形尺寸（宽x深x高）485×480×262毫米备注（尺寸）这是 6 组分气体单元的示例。电源容量交流100V 1A重量10公斤
- 型号： MU-35XX
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-35XX
YAMATO雅马拓 多组分气体混合装置 MU-35XX
| 模型 | MU-35XX |
|---|---|
| 流量测量范围 | 2~100%FS（保证精度范围） |
| 气体类型 | 兼容惰性气体到腐蚀性气体（特殊气体将单独讨论） |
| 总流量 | 100SCCM～50SLM |
| 成分 | 5种成分 |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 485×480×262毫米 |
| 备注（尺寸） | 这是 6 组分气体单元的示例。 |
| 电源容量 | 交流100V 1A |
| 重量 | 10公斤 |