ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E410
ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E410ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E410
- 型号： SSA-E410
ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E410
ULVAC爱发科 简易型红外线灯加热设备 SSA-E410
红外镀金聚焦炉和石英腔体构成的简易型设备。
由红外镀金聚焦炉及包含试料架的石英腔体构成的低价格的加热系统。
由红外镀金聚焦炉及包含试料架的石英腔体构成的低价格的加热系统。
特点
石英腔室可以选择气流型或真空型（标准是气流型）
可选，可以使用气流型和真空型
用途
化合物半导体的合金化
Si、化合物半导体のRTA
陶瓷基板上的层压材料的烧制炉
用于玻璃和陶瓷基板的退火炉
规格
| Model | SSA-E45 | SSA-E410 | SSA-P610C |
|---|---|---|---|
| Heating Method | Focused light cylindrical heating | Parallel light cylindrical heating | |
| Temperature Range | RT ～ 1400℃ | RT ～ 1200℃ | |
| Heating zone | Φ15mm×L 50mm | Φ15mm×L 100mm | Φ50mm×L 100mm |
| Soaking zone | Φ10mm×L 40mm | Φ10mm×L 80mm | Φ40mm×L 80mm |
| Heating chamber | Quartz chamber Φ30（for gas flow） | Quartz chamber Φ98（for gas flow） | |
| Sample holder | Quartz holder with boat shape | Quartz holder for 2-inch wafer | |
| Thermocouple | JIS R-type | ||
| Temperature controller | TPC5000-32-1 | TPC5000-62-1 | |
※ Heating temperature changes according to the heated sample’s infrared reflectance, absorption, heat capacity, and material.