ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 MILA-5050
ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 MILA-5050ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 MILA-5050本设备是可以对尺寸为50*50毫米的试料进行热处理的桌上型灯加热设备。MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。特点可以热处理最
- 型号： MILA-5050
ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 MILA-5050
ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 MILA-5050
本设备是可以对尺寸为50*50毫米的试料进行热处理的桌上型灯加热设备。
MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。
应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。
MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。
应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。
特点
可以热处理最大W 50mm × L 50mm尺寸的样品
最高使用温度为1200°C
桌面型，加热炉，腔室，温度控制器一体化
Cold Wal结构l可以快速加热/冷却和清洁加热
通过连接有USB连接在电脑上，可以轻松输入温度程序
加热时的温度数据可以显示在计算机屏幕上（可以保存为文本文件）
用途
Si晶圆、化合物晶圆的高速加熱
光CVD基板加熱等の电子材料高速加热
玻璃基板、陶瓷、复合材料等的热处理
热循环测试
金属材料的退火
涂膜的耐热性评估
有机材料、树脂类的加热、干燥
规格
| Temperature Range | RT～1200℃ |
|---|---|
| Heating rate | 50℃/s |
| Sample Size | ☐50 or Φ50 × t2 (mm) |
| Atmosphere | Vacuum, Gas flow |
*Vacuum pumping system is optional. * Heating temperature changes according to the heated sample’s infrared reflectance, absorption, heat capacity, and material.
Measurement data
① 500℃,Δt = 3.2℃
② 800℃,Δt = 0.6℃
③ 1000℃,Δt = 4.2℃
④ 1200℃,Δt = 2.6℃
Sample assembly (when measuring 2-inch sample)
SiC coat carbon susceptor and quartz sample holder are optional parts (above).
Utility
| Power source | AC200V, 5kW |
|---|---|
| Cooling water | City water, flow rate 6L/min water pressure 0.3MPa or more |
| System size | 450(W) x 492(D) x 219(H) mm without protrusion |
| Weight | approx. 24kg |
Option
SiC coat carbon susceptor
Vacuum exhaust system (RP, DRY, TMP etc.)
Gas flow unit (rotameter)
Flow switch for cooling water
Check valve (relief valve)
Power cable, Cooling water hose
Cooling water circulator
Handy spot welder (HS-9000)
Handy arc welder (HA-1H)