ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 RTP-6
ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 RTP-6ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 RTP-680℃/s高速退火可实现低成本。最大6英寸的灯管放大器。用于一般半导体工艺的硅化物和化合物半导体的工艺放大器。特点冷墙结构不会造成再次金属污染用途可以实现Si晶圆的急速热处理规格型号RTP-6温度范围目前～1000℃样品尺寸4inch～6inch 柔性尺寸测量环境气体中、气体中、大气中应用涡轮分子泵
- 型号： RTP-6
ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 RTP-6
ULVAC爱发科 桌上型灯加热设备 RTP-6
80℃/s高速退火可实现低成本。
最大6英寸的灯管放大器。
用于一般半导体工艺的硅化物和化合物半导体的工艺放大器。
用于一般半导体工艺的硅化物和化合物半导体的工艺放大器。
特点
冷墙结构不会造成再次金属污染
用途
可以实现Si晶圆的急速热处理
规格
| 型号 | RTP-6 |
|---|---|
| 温度范围 | 目前～1000℃ |
| 样品尺寸 | 4inch～6inch 柔性尺寸 |
| 测量环境 | 气体中、气体中、大气中 |
| 应用 | 涡轮分子泵／回转泵排气组 冷却水循环设备 高温计控制 SiC碳板 |
加热室
宪法
红外线金像炉
热处理室
可编程温度控制器
9区输出单元
量程变化单位
燃气管道系统
热风排风系统
框架・开关板
高温计（可选）
冷却水循环系统（选配）
真空排气系统（选配）
系统图
公用事业
| 外形尺寸 | 大约。 W600 x D1000 x H1700 (mm)（不包括突出部分） |
|---|---|
| 重量 | 大约。 300公斤 |
| 电源要求・接地 | 三相交流200V 30kVA，D型 |
| 冷却水 | 自来水15L/min以上、0.3MPa以上 |
| 真空排气口 | KF-25 |
| 气口 | 输入：1/4 Swagelok 接头（或同等产品） OUT：3/8 Swagelok 接头（或同等产品） |
| 热风出口 | 大约。 Φ50短管 |