ULVAC爱发科 平板面状放射型红外线加热炉 PS15V
ULVAC爱发科 平板面状放射型红外线加热炉 PS15VULVAC爱发科 平板面状放射型红外线加热炉 PS15V平板面状放射型红外线加热炉可用于Φ2in～Φ300mm的硅片退火系统和生产用红外线加热炉。特点Ps型宽度为40mm的反射面，Pss型宽度为20mm的反射面的高密度灯配置，通过增加Ps和Pss类型的反射表面的数量可以加热宽区域用途大型玻璃基座（太阳能电池、FPD等）的加热半导体晶圆
- 型号： PS15V
ULVAC爱发科 平板面状放射型红外线加热炉 PS15V
ULVAC爱发科 平板面状放射型红外线加热炉 PS15V
平板面状放射型红外线加热炉可用于Φ2in～Φ300mm的硅片退火系统和生产用红外线加热炉。
特点
Ps型宽度为40mm的反射面，Pss型宽度为20mm的反射面的高密度灯配置，
通过增加Ps和Pss类型的反射表面的数量可以加热宽区域
用途
大型玻璃基座（太阳能电池、FPD等）的加热
半导体晶圆的高温快速加热
薄板钢板热处理
规格
| 型号*1 | 加热方式 | 灯号 | 加热长度 （发光长度） | 灯电压 | 输入 |
|---|---|---|---|---|---|
| PS15V | 平面辐射加热 | 1 | 140毫米 | 200V | 1.2千瓦 |
| PS110V | 265毫米 | 2.0千瓦 | |||
| PS116V | 420毫米 | 300V | 3.0千瓦 | ||
| PS35V | 3 | 140毫米 | 200V | 3.6千瓦 | |
| PS310V | 265毫米 | 6.0千瓦 | |||
| PS316V | 420毫米 | 300V | 9.0千瓦 | ||
| 电源35V | 140毫米 | 200V | 3.6千瓦 | ||
| 38V | 200毫米 | 4.8千瓦 | |||
| 电源310V | 265毫米 | 6.0千瓦 | |||
| PS316V | 420毫米 | 300V | 9.0千瓦 |
＊1 型号含义
对于 Ps(s)35V
P：抛物面反射，s：40mm 宽度（ss：20mm 宽度），3：灯数量，5：灯长度，V：平面加热类型
・加热炉需要冷却水，敬请注意。
・加热温度根据加热样品的红外线反射率、吸收率、热容量、材质而变化。
・如有其他规格要求，请随时与我们联系。