ULVAC爱发科 红外镀金聚焦炉 耐热评估炉 E45N
ULVAC爱发科 红外镀金聚焦炉 耐热评估炉 E45N
从高速加热到广域加热都可满足客户的需求。
特点
具有抛物反射表面的平行红外光,可以均匀地加热大面积区域
用途
Si、化合物半导体的RTA
玻璃・陶瓷基板的退火炉
金属环境退火炉
复合材料的耐热评估炉
高温张力・雅俗试验用加热炉
规格
E型
VHT型
P型
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| 型号*1 | 加热方式 | 最大限度。加热 温度*2 | 加热长度 (发光长度) | 灯 电压 | 输入 |
|---|---|---|---|---|---|
| E110L | 聚焦光单面加热 | - | 265毫米 | 200V | 2.0千瓦 |
| E25N | 聚焦光柱加热 | 1100℃ | 140毫米 | 100V | 2.0千瓦 |
| E25P | 1300℃ | 200V | 2.4千瓦 | ||
| E45N | 1100℃ | 100V | 4.0千瓦 | ||
| E45P | 1400℃ | 200V | 4.8千瓦 | ||
| E410N | 1100℃ | 265毫米 | 200V | 4.0千瓦 | |
| E410P | 1400℃ | 8.0千瓦 | |||
| VHT-E44 | 1700℃ | 100毫米 | 200V | 8.0千瓦 | |
| VHT-E64 | 12.0千瓦 | ||||
| VHT-E48 | 1800℃ | 225毫米 | 480V | 24.0千瓦 | |
| VHT-E68 | 36.0千瓦 | ||||
| P44CP | 平行光柱加热 | 1200℃ | 100毫米 | 100V | 4.0千瓦 |
| P48CP | 200毫米 | 200V | 6.4千瓦 | ||
| P410CP | 265毫米 | 8.0千瓦 | |||
| P65CN | 900℃ | 140毫米 | 100V | 6.0千瓦 | |
| P65CP | 1200℃ | 200V | 7.2千瓦 | ||
| P610CN | 900℃ | 265毫米 | 6.0千瓦 | ||
| P610CP | 1200℃ | 12.0千瓦 | |||
| P810CN | 900℃ | 8.0千瓦 | |||
| P810CP | 1100℃ | 16.0kW |
*1 型号含义
适用于E410N
E : 反射面类型
E : 椭球面反射 , P : 抛物面反射
4 :灯号
10 :灯长度
N : 加热方式、灯类型
L :线状聚焦光、C:圆筒加热、N:N灯、P:P灯
*2 最高加热温度根据加热样品的红外反射率、吸收率、热容量和材料而变化。
・加热炉需要冷却水,敬请注意。
・加热温度根据加热样品的红外线反射率、吸收率、热容量、材质而变化。
・如有其他规格要求,请随时与我们联系。
原则
红外灯辐射光谱分布
1.辐射加热
红外金像炉是一种采用高能量密度的红外灯作为加热源的辐射加热炉。
炉体采用铝合金水冷,红外线反射面抛光镀金,反射率高。
2.红外线灯
钨丝密封在石英玻璃制成的管中,其光谱峰值约为近红外区域的1.15μm。
红外灯提供的能量密度是传统加热元件的10至15倍。
3.反光镜
反射镜采用高精度曲率加工,提高反射率,抑制劣化。
反射器根据其形状有两种类型,一种是椭圆型,另一种是抛物线型。 RHL-E和VHT-E系列型号具有椭圆形反射器,适用于棒状样品的加热,其他型号:RHL-P、RHL-Ps和RHL-Pss系列具有抛物线型反射器,适用于棒状样品的加热。适用于片状样品。
E型
最大热速测试

炉型:E410P样品:W10×L50×t1 (mm)
气氛:空气
材质:SUS板
VHT型
使用超高温炉进行最大加热速度测试

熔炉:VHT-E68样品:Φ12 ×L30(mm)
气氛:N 2流通时
材质:碳
P型
最大热速测试

炉体:P610P样品:W20×L50×t0.8 (mm)
气氛:空气
材质:SUS板
温度均匀性测试

炉子:P610CN
样品:W50×L100×t4 (mm)
气氛:N 2流通时材质:碳板
多步热测试

炉型:P610CN样品:W50×L80×t0.5 (mm)
气氛:N 2流通时
材质:SUS板
不同气体类型的冷却速度

炉型:P610CP样品:W50×L80×t0.5 (mm)
材质:SUS板
流量:10升/分钟