ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ
ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ
- 型号: ELEC-RZ
ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ
ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ
ULVAC爱发科 紧凑型高性能高真空搬送机械手 ELEC-RZ
真空密封采用磁流体密封,支持高达10-6Pa的高真空。
致动器的小型化使其紧凑并使其易于安装在设备上。
根据行经,转弯半径,手臂数量,有多种可选。
采用了可操作性优异的多功能显示型teching。
半导体设备的自动晶片搬送
各种真空实验设备的基板搬送
Pressure range | to 10-6Pa | |
Wafer size | 200mm/300mm | |
Number of wafer | 1 or 2 | |
Maximum distance * | 1050mm | |
Rotation | ±210° | |
Z-axis stroke | 50mm | |
Minimum rotation diameter * | 944mm | |
Weight capacity (hand is included) | 1kg | |
Speed | R | Max 2.5sec / full stroke |
Θ | Max 3.0sec / 180° | |
Z | Max 1.5sec / 20mm | |
position Accuracy | R | ±0.1mm |
Θ | ±0.2mm | |
Z | ±0.2mm | |
Teaching pendant | Attached | |
Controller | Separation type |
*Changes by the arm and hand.