ULVAC爱发科 EB枪配件高空确认器 DTA-002
ULVAC爱发科 EB枪配件高空确认器 DTA-002ULVAC爱发科 EB枪配件高空确认器 DTA-002EB枪配件高空确认器。配件选择指南部品名称型号规格高压导入端子BERH311A电流导入端子PTS-004线圈布线用接地端子ERZ-003真空验证DTA-002水冷导入端子DK5203-045回转导入端子（手册）FDR-015为了壁炉PDH-003坩埚定位器坩埚检测单元电流导入端子PT
- 型号： DTA-002
ULVAC爱发科 EB枪配件高空确认器 DTA-002
ULVAC爱发科 EB枪配件高空确认器 DTA-002
EB枪配件高空确认器。
配件选择指南
| 部品名称 | 型号 | 规格 |
| 高压导入端子 | BERH311A | |
| 电流导入端子 | PTS-004 | 线圈布线用 |
| 接地端子 | ERZ-003 | |
| 真空验证 | DTA-002 | |
| 水冷导入端子 | DK5203-045 | |
| 回转导入端子（手册） | FDR-015 | 为了壁炉 |
| PDH-003 | ||
| 坩埚定位器 | 坩埚检测单元 | |
| 电流导入端子 | PTS-004 | 中心定位器用 |
※每个终端需要一个30Φ的服务端口