ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100
ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100
- 型号: HPS-1000N-100
ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100
ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100
ULVAC爱发科 EB电源 稳定回路高性能型 HPS-1000N-100
不需要冷却水
强制空冷系统,不需要冷却水
可靠性高
作为设备制造商经验积累的成果
简易的操作性
操作面板使用液晶触摸屏,操作性得到提升。
扫描波形变化
可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式
高速电弧中断功能
通过高速电弧中断最大限度地减少成膜率
低水平电弧控制功能(光学应用可选)
控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜
金属膜用真空沉积
Model | HPS-1000N-100 | HPS-1000N-200 | |
Input specification | Input voltage | Three phase, AC190~231V | |
Input capacity | 14kVA | 15kVA | |
Output specification | Rated output power | 10kW | |
Voltage | -4k~-10kV | ||
Ripple rate | 2%p-p or less (at rated power) | ||
Beam current | 0~1000mA | ||
Cooling method | Forced air-cooling | ||
Dimensions W×D×H | 494×701×712mm | ||
Weight | 120kg | 145kg | |
Applicable Standard | CE |