ULVAC爱发科 EB电源 内置强制空冷系统 HPS-510S
ULVAC爱发科 EB电源 内置强制空冷系统 HPS-510SULVAC爱发科 EB电源 内置强制空冷系统 HPS-510SULVAC多年的技术积累和实际成果、具备稳定的回路和高性能的EB電源。配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。特点不需要冷却水强制空冷系统，不需要冷却水可靠性高作为设备制造商经验积累的成果简易的操作性操作面板使用液晶触摸屏，操作性得
- 型号： HPS-510S
ULVAC爱发科 EB电源 内置强制空冷系统 HPS-510S
ULVAC爱发科 EB电源 内置强制空冷系统 HPS-510S
ULVAC多年的技术积累和实际成果、具备稳定的回路和高性能的EB電源。
配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。
配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。
特点
不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水可靠性高
作为设备制造商经验积累的成果简易的操作性
操作面板使用液晶触摸屏，操作性得到提升。扫描波形变化
可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式高速电弧中断功能
通过高速电弧中断最大限度地减少成膜率低水平电弧控制功能（光学应用可选）
控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜
用途
金属膜用真空沉积
规格
| Model | HPS-510S | HPS-1600F -S100 | HPS-1600F -S200 | HPS-1600F -S101 | |
| Input specification | Input voltage | Three phase, AC190～231V | |||
| Input capacity | 7kVA | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| Output specification | Rated output power | 5kW | 16kW | ||
| Voltage | -4k～-10kV | ||||
| Ripple rate | 2％p-p or less (at rated power) | ||||
| Beam current | 0～500mA | 0～1600mA | |||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||||
| Dimensions W×D×H | Power Supply | 480×620×300mm | 500×700×710mm | ||
| Gun Controller | 480×480×149mm | ||||
| Weight | Power Supply | 50kg | 113kg | 136kg | 113kg |
| Gun Controller | 20kg | 17kg | |||