ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 EGL-110 可实现大量成膜
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 EGL-110 可实现大量成膜ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 EGL-110 可实现大量成膜EGL-110型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。拥有最大输入功率16kW的坩埚，坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。特点采用大容量110cc坩埚，可实现大量成膜。由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影
- 型号： EGL-110
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 EGL-110 可实现大量成膜
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 EGL-110 可实现大量成膜
EGL-110型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率16kW的坩埚，坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。
拥有最大输入功率16kW的坩埚，坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。
特点
采用大容量110cc坩埚，可实现大量成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV | |
| 束电流 | 1.6Amax (at-10kV) | |
| 最大入力 | 16kW (-10kV, 1.6A) | |
| X轴偏转线圈 | 0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃） | |
| Y轴偏转线圈 | 0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個 | |
| 灯丝 | 0～6VAC 40Amax | |
| 坩埚 | 容量 | 110cc |
| 尺寸 | 75Φ×59Φ×32H | |
| 电子束偏转角度 | 270° | |
| 有效蒸发角度 | 120°以上 | |
| 蒸发速度 | 铝16kW时 | 4.5μm/min以上（炉膛上250H） |
| 冷却水量 | 19L/min以上、0.7MPa（最大圧力） | |
| 水温 | 15℃～25℃ | |
| 外形尺寸 | 136W×90H×220D | |
| 重量 | 约15kg | |
| 适用电源 | HPS-1000N, HPS-1600F | |
| 備考 | 1. 可以连接送丝机。 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水 | |