ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 内置大容量锅炉 EGL-35
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 内置大容量锅炉 EGL-35ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 内置大容量锅炉 EGL-35
- 型号： EGL-35
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 内置大容量锅炉 EGL-35
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 内置大容量锅炉 EGL-35
EGL-35型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率10kW的坩埚。
由于坩埚容量大，每个40cc，因此可以进行厚膜的高速蒸发。
拥有最大输入功率10kW的坩埚。
由于坩埚容量大，每个40cc，因此可以进行厚膜的高速蒸发。
特点
采用40cc大容量锅炉，可实现大体积成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV DC | |
| 电子束电流 | MAX 1.0A（加速电压-10kV时） | |
| 最大输入功率 | 10kW（-10kV, 1.0A） | |
| X轴偏转线圈 | 0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室温20℃内） | |
| Y軸偏转线圈 | 0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室温20℃内） | |
| 灯丝 | 0～6V AC MAX40A | |
| 坩埚 | 容量 | 40cc |
| 尺寸 | 50Φ×41Φ×25H | |
| 电子束偏向角度 | 270° | |
| 有蒸发角度 | 120°以上 | |
| 蒸发速度 | 1.8μm/min以上（A110kW、炉膛上250H） | |
| 冷却水量 | 10L/min以上（最大输出0.7MPa） | |
| 水温 | 15～25℃ | |
| 外形尺寸 | 110H×79W×206D | |
| 重量 | 10kg | |
| 适用电源 | HPS-1000N, HPS-1600F | |
| 参考 | 1. 可以连接送丝机 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。 | |