ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 平顶结构型 EGN-206M
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 平顶结构型 EGN-206MULVAC爱发科 金属膜用EB枪 平顶结构型 EGN-206MEGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。特点采用了平顶结构，减少了电子束蒸发源上的成膜区域，使清洁变得容易采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60％，从而简化了装配适用于金属成膜，氧化
- 型号： EGN-206M
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 平顶结构型 EGN-206M
ULVAC爱发科 金属膜用EB枪 平顶结构型 EGN-206M
EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。
采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。
特点
采用了平顶结构，减少了电子束蒸发源上的成膜区域，使清洁变得容易
采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60％，从而简化了装配
适用于金属成膜，氧化物/化合物点光束。
作为设备制造商经验积累的成果
用途
电子束蒸发的蒸发源
规格
| Model | EGN-206M | EGN-406M |
| Deflection angle | 270° | 270° |
| Quantity of crucibles | 6 | 6 |
| Crucible capacity | 20cc | 40cc |
| Cooling-water flow rate | 10L/min | 10L/min |
| Dimensions W×D×H | 267mm×343mm×150mm | 267mm×343mm×150mm |
| Weight | 28kg | 28kg |