ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用
ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用MFU-20K是通过与ULVAC制的DC电源组合，将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。从而提高实现良率和成品率。特点频率范围宽可以在10kHz～100kHz的范围内 ※1主/从连接允许大容量最多可以进行6台设备操作DC输出可以输入DC电源的输出可以将原样施加到阴极
- 型号： MFU-20K
ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用
ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用
MFU-20K是通过与ULVAC制的DC电源组合，将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。
从而提高实现良率和成品率。
从而提高实现良率和成品率。
特点
频率范围宽
可以在10kHz～100kHz的范围内 ※1主/从连接允许大容量
最多可以进行6台设备操作DC输出可以
输入DC电源的输出可以将原样施加到阴极 ※2
用途
FPD用反应溅射设备
工业涂层用反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备
一般溅射设备
规格
| 模型 | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 额定输入电压 | AC100V/AC240V |
| 输入电压波动范围 | 交流90～264V | |
| 相位、频率 | 1相50/60Hz | |
| 输入容量 | 400伏安 | |
| 输入规格 | 工作电压 | 0～-1000V ※1 |
| 空载电压 | -1200V | |
| 工作电流 | 50A | |
| 输出规格 | 最大额定电压 | 1000V（有效值）※1 |
| 空载电压 | 直流-1200V | |
| 最大额定电流 | 50A | |
| 振荡频率 | 10k～100kHz ※2 | |
| 占空比 | 10～90％※3 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 尺寸（宽×深×高） | 483mm×630mm×177mm（不含突出部分） | |
| 重量 | 37公斤 | |
| 适用标准 | CE/SEMI F47/RoHS | |
使用环境温度 5℃ ～ 40℃（无凝露）
使用环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动、无腐蚀性气体。
※1：电压超过800V时，频率受到限制。
※2：频率超过60kHz时，输出受到限制。
※3：占空比根据振荡频率而受到限制。