ULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-40K
ULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-40KULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-40KA2K系列是在反应性溅射工艺中，在直流电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄陷阱来防止异常放电的附加单元。能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。特点通过减少异常排水来提高产量可以输入更高的功率主板损坏能够减少电弧引起的主板损坏控制主轴的问题与RF
- 型号： A2K-40K
ULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-40K
ULVAC爱发科 异常阻止单元 脉冲同步系统用 A2K-40K
A2K系列是在反应性溅射工艺中，在直流电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄陷阱来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。
能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。
特点
通过减少异常排水
来提高产量可以输入更高的功率主板损坏
能够减少电弧引起的主板损坏控制主轴的问题
与RF溅射相比，可以降低主轴温度简单的连接性
可以连接到现有设备可变的反向脉冲频率
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用脉冲同步系统
可以输出多个A2K模块的同步脉冲*2*3主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K最多可以6台并联运行
应用：脉冲同步系统
当同一个腔室内阴极反向接近相对时，或者，当多个A2K反向互干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止反向干扰。*3 *4
*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25,50，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和任务操作。
*3：A2KH-25/50外部需要同步单元（PHSM / PHSS）
* 4：A2K-20K / 40K需要光同步电缆（脉冲链接电缆）
用途
FPD用反应溅射设备
工业涂层用反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备
规格
| 模型 | A2KH-25 | A2KH-50 | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制电源输入 | 输入 | 交流90～110V | 交流100～240V | ||
| 频率 | 单相50/60Hz | ||||
| 力量 | 100伏安 | 120VA | 400伏安 | ||
| 漏电流 | 1mA以下 | ||||
| 输入规格 | 工作电压 | -100至-800V | |||
| 工作电流 | 0至25A | 0至50A | 0至50A | 0至100A | |
| 输入结构 | 连接器连接 | 端子块或连接器连接 | 连接器连接 | ||
| 输出规格 | 脉冲范围 | 5μs/10μs（内部开关切换） | 1～18μs（有频率限制） | ||
| 振荡频率 | ・脉冲范围 5μs： 2,5,10,15,20kHz ・脉冲范围 10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz | 1 至 50KHz 以 1KHz 增量变化 | |||
| 反转脉冲电压 | 直流发电机输出电压的10％至20％。 （这取决于负载阻抗） | ||||
| 耐压 | 连续运行 | -1500V直流 | |||
| 并联运行 | 没有什么 | 最多可控制 6 台 *5 | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||||
| 尺寸（宽×深×高) | 238×450×149毫米 | 430×450×149毫米 | 483×630×177毫米 | ||
| 重量 | 16公斤 | 27公斤 | 30公斤 | 45公斤 | |
| 适用标准 | 有害物质限制指令 | ||||
工作环境温度 5℃ 至 40℃（无凝结）
工作环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，无腐蚀性气体。
*5： A2K-20K 和 A2K-40K 不能一起使用。