ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-DH
ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-DHULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-DH
- 型号： DC-20-DH
ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-DH
ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-20-DH
DC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，最适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。
特点
丰富的高性能选项
轻巧且节省空间的设计
800V和1000V的电压输出范围
适应于等离子体的输出控制
强制空气冷却系统，无需冷却水
配备出色的ARC功能和高速ARC断路器
可最多12台设备并联运行（240kW）
符合RoHS、CE、SEMI-F47标准
用途
FPD溅射设备
半导体溅射设备
电子元器件溅射设备
工业涂层溅射设备
规格
| Model | DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
| Input | Input voltage | AC208V | |||
| Variation range | AC187V~229V | ||||
| Number of phase/ Frequency | Three phase for 50/60Hz | ||||
| Input connection | Connector | ||||
| Input capacity | 13.5kVA or less | 25kVA or less | |||
| Output | Rated power | 10kW | 20kW | ||
| Rated current | 25A | 18A | 50A | 40A | |
| Rated voltage | 800V | 1000V | 800V | 1000V | |
| ARC control | If ARC is detected, the inverter is stopped and LARC separates the load side | ||||
| Output connection | Connector | ||||
| Control | Output control system | Constant power control/ Constant current control / Constant voltage control control (V control) | |||
| Control accuracy *1 | 1 to 10% of rated power : ±5% or less of set value 10-100% of rated power : The higher of ±0.5% or less of the rated output or ±1% of the set value | ||||
| Guaranteed control range *2 | Constant power control: 10 to 100% of the rated power value(Option：1-100%) | ||||
| Parallel operation *3 | MAX 12 unit | ||||
| Control mode system | LOCAL control / USER control / SERIAL communication control (RS232C or RS485)/EtherCAT *4 | ||||
| Colling | Air cooling | ||||
| Dimensions | 483mm（W）×630mm（D）×133mm（H） | ||||
| Mass | 29kg | 36kg | |||
| Standard | RoHS、CE、SEMI F47 | ||||
工作温度 5-40°C
使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。
*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。
*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3：800V规格和1000V规格无法组合。
*4：EtherCAT可选。
使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。
*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。
*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3：800V规格和1000V规格无法组合。
*4：EtherCAT可选。