ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-10-DH

ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-10-DH

ULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-10-DHULVAC爱发科 大容量DC电源 溅射用直流电源 DC-10-DHDC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，最适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。特点丰富的高性能选项轻巧且节省空间的设计800V和1000

  • 型号： DC-10-DH
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ULVAC爱发科  大容量DC电源  溅射用直流电源  DC-10-DH

ULVAC爱发科  大容量DC电源  溅射用直流电源  DC-10-DH




DC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，最适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。

特点

  • 丰富的高性能选项

  • 轻巧且节省空间的设计

  • 800V和1000V的电压输出范围

  • 适应于等离子体的输出控制

  • 强制空气冷却系统，无需冷却水

  • 配备出色的ARC功能和高速ARC断路器

  • 可最多12台设备并联运行（240kW）

  • 符合RoHS、CE、SEMI-F47标准

用途

  • FPD溅射设备

  • 半导体溅射设备

  • 电子元器件溅射设备

  • 工业涂层溅射设备

规格

ModelDC-10-DDC-10-DHDC-20-DDC-20-DH
InputInput voltageAC208V
Variation rangeAC187V~229V
Number of phase/
Frequency		Three phase for 50/60Hz
Input connectionConnector
Input capacity13.5kVA or less25kVA or less
OutputRated power10kW20kW
Rated current25A18A50A40A
Rated voltage800V1000V800V1000V
ARC controlIf ARC is detected, the inverter is stopped and LARC separates the load side
Output connectionConnector
ControlOutput control systemConstant power control/ Constant current control / Constant voltage control
control (V control)
Control accuracy *11 to 10% of rated power : ±5% or less of set value
10-100% of rated power : The higher of ±0.5% or less of the rated output or ±1% of the set value
Guaranteed control range *2Constant power control: 10 to 100% of the rated power value(Option：1-100%)
Parallel operation *3MAX 12 unit
Control mode systemLOCAL control / USER control / SERIAL communication control (RS232C or RS485)/EtherCAT *4
CollingAir cooling
Dimensions483mm（W）×630mm（D）×133mm（H）
Mass29kg36kg
StandardRoHS、CE、SEMI F47
工作温度 5-40°C
使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。
*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。
*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3：800V规格和1000V规格无法组合。
*4：EtherCAT可选。



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