ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式
ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式 ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式
- 型号: VFR-500
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ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式
ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-500 双动式
ULVAC独创的技术
采用独特的密封机构和反向压力消除机构,不是使用机械锁定机构。
极少采用会导致partical产生的滑动部件
在打开/关闭或密封时几乎没有冲击(振动)
良好的维护性
无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳
可以在壳体移除后,仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元
可任意选择安装方向
VFR系列安装方向360度自由
大型显示制造设备
有机EL制造设备
其他真空设备的主阀・分阀
Model | VFR-400 | VFR-500 | |
Common port diameter | Φ400mm | Φ500mm | |
Flange specification (JIS B2290 equivalency) | VF400 | VF500 | |
Open/close specification | 2 positions | ||
Open/close operation principle | Pneumatic | ||
Open/close time | 8sec | 12sec | |
Valve plate seal | Reverse pressure capable | ||
Open conductance | 50000L/s | 90000L/s | |
Pressure range | 1.0×10-5Pa~0.12MPa(abs) | ||
Allowable baking temperature (at stopped) | Valve body : < 120℃ Cylinder : < 80℃ Valve body : < 248F Cylinder : < 176F | ||
Allowable ambient temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
Allowable Gass temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
Compressed air pressure | 0.50 to 0.70MPaG 72.5 to 101.5psi 5.0 to 7.0bar | ||
Compressed air supply port | Φ8 tube connection | ||
Maintenance cycle | 100,000 | ||
Mouting angle | Free | ||
Main parts material | Valve body : AC4CH-T6 Seal plate : AC4CH-T6 | ||
Seal material | Vacuum side:FPM | ||
Oil | Z300 | ||
Weight | 98kg | 155kg | |
Flange to flange dimension | 150mm | 170mm |