ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-400 双动式
ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-400 手动式 ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-400 手动式
- 型号： VFR-400
ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-400 双动式
ULVAC爱发科 VLH系列真空角阀 VFR-400 双动式
是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。
特点
ULVAC独创的技术
采用独特的密封机构和反向压力消除机构，不是使用机械锁定机构。
极少采用会导致partical产生的滑动部件
在打开/关闭或密封时几乎没有冲击（振动）良好的维护性
无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳
可以在壳体移除后，仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元可任意选择安装方向
VFR系列安装方向360度自由
用途
大型显示制造设备
有机EL制造设备
其他真空设备的主阀・分阀
规格
| Model | VFR-400 | VFR-500 | |
| Common port diameter | Φ400mm | Φ500mm | |
| Flange specification (JIS B2290 equivalency) | VF400 | VF500 | |
| Open/close specification | 2 positions | ||
| Open/close operation principle | Pneumatic | ||
| Open/close time | 8sec | 12sec | |
| Valve plate seal | Reverse pressure capable | ||
| Open conductance | 50000L/s | 90000L/s | |
| Pressure range | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| Allowable baking temperature （at stopped） | Valve body : < 120℃ Cylinder : < 80℃ Valve body : < 248F Cylinder : < 176F | ||
| Allowable ambient temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
| Allowable Gass temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
| Compressed air pressure | 0.50 to 0.70MPaG 72.5 to 101.5psi 5.0 to 7.0bar | ||
| Compressed air supply port | Φ8 tube connection | ||
| Maintenance cycle | 100,000 | ||
| Mouting angle | Free | ||
| Main parts material | Valve body : AC4CH-T6 Seal plate : AC4CH-T6 | ||
| Seal material | Vacuum side：FPM | ||
| Oil | Z300 | ||
| Weight | 98kg | 155kg | |
| Flange to flange dimension | 150mm | 170mm | |