ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-12NS 回转式多传感器

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-12NS 回转式多传感器

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-12NS 回转式多传感器ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-12NS 回转式多传感器CRTS-12NS是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。可以搭载5MHz水晶振荡片12枚、长时间连续蒸发也可放心使用。特点可搭载12枚AT切割的5MHz水晶振动子使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性水晶震动子的更换

  • 型号： CRTS-12NS
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ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用  CRTS-12NS  回转式多传感器

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CRTS-12NS是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz水晶振荡片12枚、长时间连续蒸发也可放心使用。

特点

  • 可搭载12枚AT切割的5MHz水晶振动子

  • 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性

  • 水晶震动子的更换非常方便

  • 当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时）

用途

  • 光学、光通信部品的蒸发

  • 有机物的蒸发

  • 电子部品,其他蒸发

规格

Sensor head
Equipped crystal number12 pieces
Capacity of crystal4MHz,5MHz AT cut crystal
Heat resistance temperature350℃
Cooling water volume1L / min
Weight2kg
DimensionΦ104mm x H Approx. 61mm


Controller
Digital inputINIT, CNT, STOP
Digital outputSensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
UtilityDC24V, 3.0A
Dimension W×D×H100mm x 250mm x 99mm


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