ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-M6 回转式多传感器

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-M6 回转式多传感器

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-M6 回转式多传感器ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用 CRTS-M6 回转式多传感器CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚，连续蒸发也可放心使用。特点可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性水晶震动子的更换非常方

  • 型号： CRTS-M6
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ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用  CRTS-M6  回转式多传感器

ULVAC爱发科 水晶振荡式成膜控制器用  CRTS-M6  回转式多传感器




CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚，连续蒸发也可放心使用。

特点

  • 可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子

  • 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性

  • 水晶震动子的更换非常方便

  • 当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时）

  • 由于传感器头很小（直径50mm），可以灵活地连接到成膜系统。

用途

  • 光学、光通信部品的蒸发

  • 有机物的蒸发

  • 电子部品,其他蒸发

规格

Sensor head
Equipped crystal number6 pieces
Capacity of crystal4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal
Heat resistance temperature350℃
Cooling water volume1L / min
Weight1kg
DimensionΦ50mm x H 約89mm


Controller
Digital inputINIT, CNT, STOP
Digital outputSensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
UtilityDC24V, 3.0A
Dimension W×D×H100mm x 252mm x 99mm


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