ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 分光椭偏仪 UNECS-3000A 薄膜膜厚/折射率测量用

ULVAC爱发科 分光椭偏仪 UNECS-3000A 薄膜膜厚/折射率测量用

ULVAC爱发科 分光椭偏仪 UNECS-3000A 薄膜膜厚/折射率测量用ULVAC爱发科 分光椭偏仪 UNECS-3000A 薄膜膜厚/折射率测量用Automatic Stage Type with Mapping FunctionUNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。我们的产品阵容包括独特的便携式，自动

  • 型号： UNECS-3000A
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ULVAC爱发科  分光椭偏仪  UNECS-3000A  薄膜膜厚/折射率测量用

ULVAC爱发科  分光椭偏仪  UNECS-3000A  薄膜膜厚/折射率测量用




Automatic Stage Type with Mapping Function

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。

特点

  • 高速測定：
    独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

  • 适用于可见光谱：
    波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

  • 紧凑型传感器单元：
    光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

  • 丰富的产品阵容：
    产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

  • 透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格

型号1500A2000A3000A
波长范围530～750nm、380～760nm（选择）
点径Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度70o固定
膜厚再现性1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围1nm ～ 2μｍ
测量时间受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平台Φ150mm自动Φ200mm自动Φ300mm自动
自动测量200点200点2,000点
控制PC笔记本类型（带操作/分析软件）
机器构成测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）


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