ULVAC爱发科 校正漏孔 真空法校正型 CLM-08A
ULVAC爱发科 校正漏孔 真空法校正型 CLM-08AULVAC爱发科 校正漏孔 真空法校正型 CLM-08A这是利用氦气透过玻璃 (透过材料) 的校正漏孔。(真空法校正)规格型号泄露量充气压力接头CLM-07AY10-7Pa･m3/s台261kPa(abs)Φ18mm pipe(with ｍanual valve)CLM-08A10-8Pa･m3/s台251kPa(abs)CLM-09
- 型号： CLM-08A
ULVAC爱发科 校正漏孔 真空法校正型 CLM-08A
ULVAC爱发科 校正漏孔 真空法校正型 CLM-08A
这是利用氦气透过玻璃 (透过材料) 的校正漏孔。(真空法校正)
规格
| 型号 | 泄露量 | 充气压力 | 接头 |
| CLM-07AY | 10-7Pa･m3/s台 | 261kPa(abs) | Φ18mm pipe(with ｍanual valve) |
| CLM-08A | 10-8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | |
| CLM-09AZ | 10-9Pa･m3/s台 | 261kPa(abs) | |
| CLM-10A | 10-10Pa･m3/s台 | 101kPa(abs) |
HELIOT中内置的校正漏孔
| 型号 | 泄露量 | 封入圧力 | 适用机型 |
| CLM-08E | 10ｰ8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT710,700,300series |
| CLM-08F | 10-8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT900series |
尺寸图
CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-07AY
CLM-08F
CLM-08E
