ULVAC爱发科 排气装置 VPT-060 干燥型高真空排气装置
ULVAC爱发科 排气装置 VPT-060 干燥型高真空排气装置ULVAC爱发科 排气装置 VPT-060 干燥型高真空排气装置在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。特点完全干燥的排气装置。安装空间紧凑。规格50Hz60Hz极限压力10-5 Pa重量17 kg吸气口I
- 型号： VPT-060
ULVAC爱发科 排气装置 VPT-060 干燥型高真空排气装置
ULVAC爱发科 排气装置 VPT-060 干燥型高真空排气装置
在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
特点
完全干燥的排气装置。
安装空间紧凑。
规格
| 50Hz | 60Hz | |
|---|---|---|
| 极限压力 | 10-5 Pa | |
| 重量 | 17 kg | |
| 吸气口 | ISO63（选购配件：KF-40） | |
| 环境温度 | 8～38 ℃ | |
| 最大尺寸 | 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H) | |
| RoHS指令 | ● | |
*根据使用条件，性能可能会降低。