ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VTR-350M/X 小型高真空排气装置
ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VTR-350M/X 小型高真空排气装置ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VTR-350M/X 小型高真空排气装置
- 型号: VTR-350M/X
ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VTR-350M/X 小型高真空排气装置ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VTR-350M/X 小型高真空排气装置
ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VTR-350M/X 小型高真空排气装置
型号 | VPC-053 |
极限压力 | 7.0×10-4Pa 1.5×10-4Pa(使用液氮时) |
主泵 | 油扩散泵(空冷) 50 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门 | 25A蝶阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 (W×D×H) | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
型号 | VPC-051 |
所需电力 | 单相 100V 0.63kVA |
接地端子 | D种 (接地电阻值/100MΩ以下) |
安装 | 乙烯基电缆(带插头) 2m |