ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 油扩散泵 小型化高真空排气泵 ULK-04A

ULVAC爱发科 油扩散泵 小型化高真空排气泵 ULK-04AULVAC爱发科 油扩散泵 小型化高真空排气泵 ULK-04AULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。特点没有机械式的滑动部分,坚固型高真空泵。有2种油和加热器可供选择,能够满足所需要的排气速度、到达压力。配有防止向辅助泵侧返油的机构。用途・蒸发设备・高真空实

  • 型号: ULK-04A

ULVAC爱发科  油扩散泵  小型化高真空排气泵  ULK-04A

ULVAC爱发科  油扩散泵  小型化高真空排气泵  ULK-04A



ULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。

特点

  • 没有机械式的滑动部分,坚固型高真空泵。

  • 有2种油和加热器可供选择,能够满足所需要的排气速度、到达压力。

  • 配有防止向辅助泵侧返油的机构。

用途

・蒸发设备
・高真空实验设备

规格

型号 ULK-04AULK-06AULK-10AULK-14A
排气速度 550L/sec500L/sec1,200L/sec1,100L/sec3,400L/sec3,000L/sec5,400L/sec4,900L/sec
极限压力
*1 
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
<2.6×10-5
Pa
<2.6×10-6
Pa
临界背压  40 Pa60 Pa40 Pa60 Pa35 Pa40 Pa30 Pa30 Pa
工作开始
时间
9 min8.5 min16.5 min15 min20 min20 min25 min25 min
液压油
*2 
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
油量  0.15 L0.35 L0.8 L1.5 L
水温  19℃~25℃
冷却水
进水口
(尺寸)  
Rc 1/4"Rc 1/4"Rc 3/8"Rc 3/8"
冷却水量  1 L/min1 L/min1 L/min1.5 L/min2.5 L/min3 L/min2.5 L/min3.5 L/min
电压规格  200V/1Φ V
电力需求  0.55 kW0.73 kW0.9 kW1.2 kW2 kW2.4 kW2.25 kW2.4 kW
加热器
种类  
热板热板热板热板
推荐
辅助泵
*3     
VD151/VD201VD30C/VD40C/VD60CVD90CVS1501/VS2401/PKS-030
PVD-180/PVD-360  VS1501

PKS-016/PKS-030
外形尺寸 *4  A175 mm250 mm340 mm340 mm
B150 mm180 mm240 mm240 mm
H344 mm449 mm650 mm670 mm
吸气口  VG100VG150VG250VG350
排气口  VG25VG40VG80VG80
重量  7.5 Kg13.5 Kg47 Kg56 Kg
油位计 视窗视窗
温控器
选项 
恒温器
设定温度  
250250180180

*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。
*2 D-11是烃类通用油,D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。
*3 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。
  通常情况下,考虑到粗抽时间,使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*4 关于其他尺寸,请确认本公司网站上的CAD数据(二维图纸、三维图纸)。



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