ULVAC爱发科 油扩散泵 高抽速型 PFL-52
ULVAC爱发科 油扩散泵 高抽速型 PFL-52ULVAC爱发科 油扩散泵 高抽速型 PFL-52ULVAC油擴散泵PFL型是基於我們豐富的研究和製造經驗而設計和製造的。我們通過4B系列產品滿足客戶的需求，其中包括22B至52B，這些產品已在許多高真空生產設施中使用，其實用性能受到高度讚賞。特点与其他相同口径的泵相比，具有更高的抽速。几乎没有油蒸汽回流高效且经济，需要动力少，油也很少
- 型号： PFL-52
ULVAC爱发科 油扩散泵 高抽速型 PFL-52
ULVAC爱发科 油扩散泵 高抽速型 PFL-52
ULVAC油擴散泵PFL型是基於我們豐富的研究和製造經驗而設計和製造的。我們通過4B系列產品滿足客戶的需求，其中包括22B至52B，這些產品已在許多高真空生產設施中使用，其實用性能受到高度讚賞。
特点
与其他相同口径的泵相比，具有更高的抽速。
几乎没有油蒸汽回流
高效且经济，需要动力少，油也很少。
加热器的更换和修理非常容易。
焊接技术非常好，使用氦气检漏仪进行过完整的泄漏测试，因此具有非常高的机械性和真空性。
规格
| 型号 | PFL-22 | PFL-22TM | PFL-36 | PFL-52 | |
| 排气速度 | 10,000 L/sec | 10,000 L/sec | 34,000 L/sec | 70,000 L/sec | |
| 极限压力 *1 | 3.0×10-4 Pa | ||||
| 临界背压 | 16 Pa | 6.7 Pa | 16 Pa | ||
| 工作开始时间 | 40 min | 60 min | 60 min | ||
| 液压油 | ULVOIL D-11 | ||||
| 油量 | 5 L | 13 L | 27 L | ||
| 水温 | 19～25℃ | ||||
| 冷却水进水口 (尺寸) | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×4 | |
| Rc 3/8×2 | |||||
| 冷却水量 | 12 L/min | 15 L/min | 38 L/min | 50 L/min | |
| 电压规格 | 200V / 3φ | ||||
| 电力需求 | 8 kW | 10 kW | 开始操作时 22 kW | 开始操作时 45 kW | |
| 稳定时 11 kW | 稳定时 30 kW | ||||
| 加热器种类 | 盘绕加热器 | 盘绕加热器 | 盘绕加热器 | 盘绕加热器 | |
| 推荐辅助泵 *2 | PMB-040C＋PKS-070 | PMB-040C＋PKS-070 | PMB-060C＋PKS-070 x 2个 | ||
| (PMB1200D＋PKS-030) | (PMB1200D＋PKS-070) | PMB2400D＋PKS-070 | |||
| (PMB2400D＋PKS-070) | |||||
| 外形尺寸 *3 | A | 480 mm | 480 mm | 725 mm | 1,000 mm |
| B | 630 mm | 630 mm | 1,022 mm | 2,000 mm | |
| H | 1,330 mm | 1,330 mm | 1,732 mm | 2,845 mm | |
| 吸气口 | VG550 | VG550 | VG900 | 52英寸VG相当 | |
| 排气口 | VG150 | VG200 | VG250 | VG350 | |
| 重量 | 290 Kg | 650 Kg | 1,400 Kg | ||
| 油位计 | 视口 View port | 视口 View port | 视口 View port | ||
| 温控器选项 | 有 | 有 | 有 | ||
| 恒温器设定温度 | 180 | 110 | 110 | ||
水冷挡板 (用于PFL)
| 型号 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | ||
| 电导 | 14,000 L/sec | 54,000 L/sec | 75,000 L/sec | ||
| 外形尺寸 *3 | D | φ680 mm | φ1,065 mm | φ1,480 mm | |
| T | 101 mm | 113 mm | 165 mm | ||
| t | 26 mm | 28 mm | 35 mm | ||
| 冷却水进水口(尺寸) | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | ||
| 水容量 | 3 L/min | 5 L/min | 5 L/min | ||
| 重量 | 28 kg | 66 kg | 200 kg | ||
*1 当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计。
*2 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。
*3 通常情况下，考虑到粗抽时间，使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。