ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1600A 磁浮轴承控制器一体型
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1600A 磁浮轴承控制器一体型ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1600A 磁浮轴承控制器一体型采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。特点泵体和控制器一体化泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。安装方向自由安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。广域大流量设计，适用于轻工艺泵速可以在25％至100
- 型号： UTM1600A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1600A 磁浮轴承控制器一体型
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1600A 磁浮轴承控制器一体型
采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。
特点
泵体和控制器一体化
泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。广域大流量设计，适用于轻工艺
泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。
高耐久性和安全性
已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。
用途
各种设备的主真空排气系统
・半导体制造设备
・蒸发设备
・溅射设备
・分析设备
・实验设备等
・研究开发设备不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
替换设备上的有扩散泵
其他一般高真空排气用途
规格
| 型号 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 吸气口 | VG 150 | ISO 160F | VG 200 | VG 250 | ISO 200F | ISO 250F | VG 250 | ISO 250F | VG 300 | VG 350 | ISO 320F | |
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 极限压力 *1 | 10-7 Pa | |||||||||||
| 排气速度 *2*3 | N2 | 1030 L/s | 1400 L/s | 2100 L/s | 3200 L/s | |||||||
| Ar | 980 L/s | 1330 L/s | 2000 L/s | 3100 L/s | ||||||||
| H2 | 660 L/s | 750 L/s | 1380 L/s | 2100 L/s | ||||||||
| 压缩比 | N2 | 2×108 | ≧ 1×108 | ≧ 1×109 | ||||||||
| He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||||||||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||||||||
| 最大吸气口圧力 *4 | 26 Pa | 4.5 Pa | 7 Pa | |||||||||
| 最大排气口压力 *4 | 266 Pa | 200 Pa | 270 Pa | |||||||||
| 旋转数 | 37200 min-1 | 33700 min-1 | 27600 min-1 | |||||||||
| 旋转数可変功能 | 泵的运转旋转数可以在规定旋转数的25％～100％之间变化。 （设定单位为0.1％） | |||||||||||
| 启动时间 | 8分以内 | 9分以内 | 16分以内 | |||||||||
| 安装方向 | 可全方位安装 | |||||||||||
| 表面处理 *5 | 无 | |||||||||||
| 外部控制 | 远程接口 | D-sub25内针 接点入输出 | D-sub37内针 接点入输出 | |||||||||
| 串联接口 | D-sub9外针 RS232C/RS485 | D-sub9外针 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 构成 | 与泵的本体一体化（内置于底部） | ||||||||||
| 电源 | 单相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||||
| 最大所要动力 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水 *6 | 流量 | 3～4 L/min | ||||||||||
| 水圧 | 0.2 ～ 0.4M PaG | |||||||||||
| 噪音 | 57 dB(A) | 60 dB(A) | ||||||||||
| 质量 | 43 kg | 41 kg | 56 kg | 94 kg | ||||||||
| 推荐辅助泵 *7 | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||||||||
| 符合标准 | CE、TUVus | |||||||||||
| 标准配件 | 吸气口用O-ring（仅VG），排气口用防尘罩，远程控制用连接器，使用说明书（CD-ROM) | |||||||||||
| 选择规格 | A流量 | AC连接器/AC电线（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 泵固定用特殊螺栓 | M10/ M12 | |||||||||||
| 泵固定用特殊螺栓要否 | 要(M10) *8 | 不要 *8 | ||||||||||
| 选项品 | 气口用适配器：KF10 | |||||||||||
*1：顺序表示。
*2：在没有保护网时的值。
*3：UTM2300A和UTM3400A为计算值。
*4：不能同时满足最大吸气口压力和最大排气口压力的条件。
*5：请勿使用反应性气体，腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。
*6：不结露。
*7：30SCCM吸引时。
*8：螺栓的强度和固定方法等的各种条件，详细信息请参照规格书。