ULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM800A-MS
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM800A-MSULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM800A-MS
- 型号： UTM800A-MS
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM800A-MS
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 泵体/控制器分体式结构 UTM800A-MS
涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
特点
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。
用途
各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。
规格
Table 1
| Model | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| Inlet port | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| Outlet port | KF25 | KF40 | ||||||||
| Cooling method | Water cooling | Air cooling | Water cooling | Air cooling | Water cooling | Air cooling | Water cooling | Air cooling | ||
| Ultimate pressure *1 | Pa | 10-7 | 10-8 | |||||||
| Pumping speed *2 | N2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| Ar | L/s | ー | ||||||||
| He | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| Compression rate | N2 | 1×109 | ||||||||
| He | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| Max inlet pressure *3 | Pa | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| Max outlet pressure *3 | Pa | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| Rotation speed | rpm | 45000 | 35000 | |||||||
| Start-up time | 5minutes or less | |||||||||
| Mounting position | In any desired direction | |||||||||
| Surface treatment | Nickel plating | |||||||||
| Cooling water | Flow rate | L/min | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| Pressure | MPaG | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| Noise | dB(A) | 60 | ||||||||
| Weight | kg | 14 | 33 | 32 | ||||||
| Recommended backing pump | 200L/minor more | 500L/minor more | ||||||||
| Controller | Composition | Separate type | ||||||||
| Input electric power | Single phase AC200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| Max power | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| Speed variation | Speed is variable between 25% and 100% of the rated speed.（ set as 0.1%） | |||||||||
| Communication | Contact | |||||||||
| Serial：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| Weight | kg | 8 | ||||||||