ULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-B
ULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-BULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-BGST-07L-B是一款溅射离子泵控制器,功能完善,可靠性高。它是ULVAC丰富的技术储备和在超高真空领域长期考验的长期积累的产物。特点小型·轻量搭载CPU实现效能化。单个装置可控制所有离子溅射泵(PST系列)。通讯设备标准配件外部通信控制功能是标准配置,因此
- 型号: GST-07L-B
ULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-BULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-BGST-07L-B是一款溅射离子泵控制器,功能完善,可靠性高。它是ULVAC丰富的技术储备和在超高真空领域长期考验的长期积累的产物。特点小型·轻量搭载CPU实现效能化。单个装置可控制所有离子溅射泵(PST系列)。通讯设备标准配件外部通信控制功能是标准配置,因此
ULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-B
ULVAC爱发科 溅射离子泵PST系列用控制器 GST-07L-B
小型·轻量
搭载CPU实现效能化。
单个装置可控制所有离子溅射泵(PST系列)。
通讯设备标准配件
外部通信控制功能是标准配置,因此可以进行远程控制和自动操作。
XHV対応
自动启动电路和软件启动功能可最大限度地减少泵电池的损耗(→专利1340297和其他申请待定)
安全限制功能
提高操作开关的防错功能和各种保护的互锁功能。采用高氟橡胶树脂高压电缆,具有优异的耐热性、耐寒性和电气特性。
指定使用的有害物质(RoHS指令) 。
符合CE标志
加速器
电子显微镜
分析机
可连接泵 | Actor 泵(PST 系列所有型号) | |
运营压力 | 10 -2 ~ 10 -4 Pa以下 | |
显示范围 | 显示方式 | 数字显示(7段LED) |
显示内容 | ||
a)输出电流显示 | 自动选择 2 个量程:mA、μA(线性显示) | |
b)输出电压显示 | 0.0 至 7.5 kV(H 或 L)(1 范围线性显示) | |
c)压力显示 | Pa、mbr (1×10 -8~1×10 -2 Pa) (1×10 -10~ 1×10 -4 mbar) | |
输出释放电压 | DC+7.5kV (2点,高低,可使用前面板开关选择;使用微调器可在约1.0至7.5kV之间调节高/低电压设置) | |
输出电流 | 小于DC31mA | |
输入电压/电流 | AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A | |
MONITOR端子输出信号 | 信号输出与7段面板显示成比例,每个量程DC 0至10V满量程,大于100kΩ | |
压力设定点 | 2分 | |
远程/本地 | 可通过面板开关选择使用 | |
外部控制功能 | 提供各种输入/输出功能(提供REMOTE连接器)(远程、RS-232C通信控制) | |
保护功能 | 错误显示/提供各种保护功能 高压(HV)输出关闭 ERR 0 至 5 灯 启动保护定时器设置(1 至 255 分钟可调) 断电后自动保留(HV 保持开关操作) | |
环境操作条件 | 温度 | 0~40℃ |
湿度 | 小于85%(无露水) | |
配件 | 输出电缆(5m)、输入电缆(3m) | |
重量 | 主要单位:约。 4公斤,电缆:约。 1.0kg(标准) | |
尺寸(宽 x 高 x 深) | 240 x 99 x 370 毫米{200 x 99 x 370 毫米(不包括机架安装支架)} |