ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 溅射离子泵 电子束曝光装置用 PST-400AXII

ULVAC爱发科 溅射离子泵 电子束曝光装置用 PST-400AXII

ULVAC爱发科 溅射离子泵 电子束曝光装置用 PST-400AXIIULVAC爱发科 溅射离子泵 电子束曝光装置用 PST-400AXII

  • 型号： PST-400AXII
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ULVAC爱发科  溅射离子泵  电子束曝光装置用   PST-400AXII

ULVAC爱发科  溅射离子泵  电子束曝光装置用   PST-400AXII


溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵，广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件和优化磁场的技术，开发出了泵。

特点

  • 应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10-9 Pa测试 。

  • 稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）

  • 在超高真空范围内实现高抽速。

  • 在短时间内可以达到超高真空。

  • 在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）

用途

  • 加速器

  • 电子显微镜

  • 电子束曝光装置

  • 讨厌振动的分析装置

  • 极・超高真空环境下的使用等

规格

型号PST-030CUPST-030AUPST-050CUPST-050AUPST-100CXPST-100AX
主要对象气体活性气体希有气体活性气体希有气体活性气体希有气体
排气速度*
(再生排气速度)		0.03m3/s
(N2 测定时)		0.013m3/s
(Ar 测定时)		0.045m3/s
(N2 测定时)		0.016m3/s
(Ar 测定时)		0.10m3/s
(N2 测定时)		0.05m3/s
(Ar 测定时)
到达压力10-9Pa
动作压力推荐值<8.0×10-3Pa<5.0 x 10-3Pa
内容积0.67 X 10-3m31.3x10-3m33.3x10-3m3
泵元件数量CU型单元×1 式AU sell×1式CU sell×1AU sell×1CX sell×1AX sell×1
连接法兰规格UFC070UFC114UFC152
施加电压DC+7.5kV
加热器
无设定AC200V, 300WAC200V, 320W
烘烤温度250℃
质量9.5 kg12kg37kg
外形尺寸W x H x D103×183×187 mm153×204×241mm155×336×340mm
使用环境温度范围5~40℃
湿度范围85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸4处-M5
深10mm		4处-M8
深6mm
推荐的控制器GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时


型号PST-110AUPST-200CXIIPST-200AXIIPST-400CXIIPST-400AXII
主要对象气体活性气体活性气体希有气体活性气体希有气体
排气速度*
(再生排气速度)		0.11m3/s
(N2 测定时)		0.2m3/s
(N2 测定时)		0.02m3/s
(Ar 测定时)		0.36m3/s
(N2 测定时)		0.19m3/s
(Ar 测定时)
到达压力10-9Pa10-10Pa
动作压力推荐值<4.5x10-3Pa<3.8x10-3Pa<3.0x10-3Pa
内容积6.5x10-3m311x10-3m314x10-3m3
泵元件数量AU sellx1CX sell×2AX sell×2CX sell×4AX sell×4
连接法兰规格UFC152UFC203
施加电压DC+7.5kV
加热器
无设定AC200V, 600WAC200V, 800W
烘烤温度250℃
质量36.5kg65kg124kg
外形尺寸W x H x D171×387×293mm296×361×376mm296×544×376mm
使用环境温度范围5~40℃
湿度范围85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸4处-M6
深5mm		4处-M8
深15mm		6处-M8
深度15mm
推荐的控制器GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时


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