ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22H 电子/光学/太阳能用
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22H 电子/光学/太阳能用ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22H 电子/光学/太阳能用ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。特征大型薄膜沉积设备的理想选择。水的最大抽速。外形尺寸（单位：mm）规格抽速（20℃）氮升/秒17,000氢25,000氩气14,0
- 型号： CRYO-U22H
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22H 电子/光学/太阳能用
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22H 电子/光学/太阳能用
ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。
特征
大型薄膜沉积设备的理想选择。
水的最大抽速。
外形尺寸（单位：mm）
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 17,000 |
| 氢 | 25,000 | ||
| 氩气 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 4.1×10 3 (31) |
| 氢 | 1.3×103 （ 9.6） | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 8.1×10 8 (6.1×10 6 ) |
| 氢 | 8.5×10 6 (6.4×10 4 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小(赫兹) | 150/135(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机组 | C30VRT×2 | ||
| 大量的 | 公斤 | 125.0 | |
*维护间隔：16,000小时