ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22P 电子/光学/太阳能用
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22P 电子/光学/太阳能用ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U22P 电子/光学/太阳能用
- 型号: CRYO-U22P
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抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 11,500 |
氢 | 14,000 | ||
氩气 | 9,700 | ||
水 | 39,000 | ||
极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
最大流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 1.7×103 ( 12.8) |
氢 | 5.0×10 2 (3.7) | ||
排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 5.8×10 8 (4.4×10 6 ) |
氢 | 6.0×10 6 (4.5×10 4 ) | ||
冷却时间 (电源循环) | 最小(赫兹) | 180/170(50/60) | |
进气法兰 | UVG-550 | ||
压缩机组 | C30PVRT | ||
大量的 | 公斤 | 115.0 |
*维护间隔:16,000小时