ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。特征非常适合中型到大型生产设备。最适合批量式大型薄膜沉积设备。耐热负荷的类型。外形尺寸（单位：mm）规格抽速（20℃）氮升/秒5,000氢10,
- 型号： CRYO-U16
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U16 高抗热负荷能力型
ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。
特征
非常适合中型到大型生产设备。
最适合批量式大型薄膜沉积设备。
耐热负荷的类型。
外形尺寸（单位：mm）
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 5,000 |
| 氢 | 10,000 | ||
| 氩气 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 1.4×103 （ 11.0） |
| 氢 | 4.1×10 2 (3.1) | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 4.3×10 8 (3.3×10 6 ) |
| 氢 | 2.4×10 6 (1.8×10 4 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小(赫兹) | 110/100(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-400 | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 大量的 | 公斤 | 61.0 | |
*维护间隔：16,000小时
*可选配移动底座