ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U12HSP 高抗热负荷能力型ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U12HSP 高抗热负荷能力型ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。特征氩气排气能力约为标准型号（U12H）的两倍。氢气排放能力约为标准型号（U12H）的1.5倍。再生间隔时间更长，有助于提高设备运转
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U12HSP 高抗热负荷能力型
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 CRYO-U12HSP 高抗热负荷能力型
氩气排气能力约为标准型号（U12H）的两倍。
氢气排放能力约为标准型号（U12H）的1.5倍。
再生间隔时间更长，有助于提高设备运转率。
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 4,100 |
| 氢 | 6,000 | ||
| 氩气 | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 2.0×103 （ 15.0） |
| 氢 | 4.1×10 2 (3.1) | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 4.4×10 8 (3.3×10 6 ) |
| 氢 | 1.6×10 6 (1.2×10 4 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小(赫兹) | 90/80(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG- 300，10B ANSI | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 大量的 | 公斤 | 42 | |
*维护间隔：16,000小时
*可选配移动底座