ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 高抗热负荷能力型 CRYO-U12H
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 高抗热负荷能力型 CRYO-U12HULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 高抗热负荷能力型 CRYO-U12HULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。特征非常适合中型到大型生产设备。抗热负荷能力强，与多种工艺兼容。外形尺寸（单位：mm）规格抽速（20℃）氮升/秒4,000氢6,000氩气3
- 型号： CRYO-U12H
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 高抗热负荷能力型 CRYO-U12H
ULVAC爱发科 超真空紧凑型低温泵 高抗热负荷能力型 CRYO-U12H
ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。
特征
非常适合中型到大型生产设备。
抗热负荷能力强，与多种工艺兼容。
外形尺寸（单位：mm）
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 4,000 |
| 氢 | 6,000 | ||
| 氩气 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 2.0×10 3 (15) |
| 氢 | 4.1×10 2 (3.1) | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 2.1×10 8 (1.6×10 6 ) |
| 氢 | 9.8×10 5 (7.4×10 3 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小(赫兹) | 85/75(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG- 300，10B ANSI | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 质量 | 公斤 | 40.0 | |
*维护间隔：16,000小时*可选配移动底座