ULVAC爱发科 超真空冷冻机 紧凑型低温泵 CRYO-U8HSP
ULVAC爱发科 超真空冷冻机 紧凑型低温泵 CRYO-U8HSPULVAC爱发科 超真空冷冻机 紧凑型低温泵 CRYO-U8HSPULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。特征溅射工艺的理想选择。氩气置换量约为传统型号（U8H）的2.5倍。氢气抽速已提高至传统型号（U8H）的约1.2倍。再生间隔时间更长，有助于提高设备运转率。
- 型号： CRYO-U8HSP
ULVAC爱发科 超真空冷冻机 紧凑型低温泵 CRYO-U8HSP
ULVAC爱发科 超真空冷冻机 紧凑型低温泵 CRYO-U8HSP
ULVAC Cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。
特征
溅射工艺的理想选择。
氩气置换量约为传统型号（U8H）的2.5倍。
氢气抽速已提高至传统型号（U8H）的约1.2倍。
再生间隔时间更长，有助于提高设备运转率。
可以进行多台操作（最多 3 台）。
外形尺寸（单位：mm）
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 1,700 |
| 氢 | 3,200 | ||
| 氩气 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa·L/s(托·L/s) | 1.2×103 （ 8.9） |
| 氢 | 2.4×10 2 (1.8) | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 2.5×10 8 (1.9×10 6 ) |
| 氢 | 1.0×10 6 (7.8×10 3 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小(赫兹) | 125/115(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-200，6B ANSI，UFC-253 | ||
| 压缩机组 | C10T、C10AT | ||
| 大量的 | 公斤 | 33.2 | |
*维护间隔：16,000小时